Taupunktgenerator G2

RH Systems G2 Taupunktgenerator

+++ Vollautomatischer Taupunktgenerator
+++ Frost-/Taupunktbereich -25°C bis +50°C
+++ Durchflussrate bis zu 100 l/min
+++ Regelt Taupunkt, relative Feuchte oder andere Feuchteparameter
+++ Gleichzeitige Messung von bis zu 3 externen Temperaturfühlern
+++ PC-Software für die Steuerung und Datenerfassung
+++ Optionales Touchpanel zur Steuerung und Statusanzeige


Datenblatt
RHS G2 Taupunktgenerator

Vollautomatisierter Zwei-Druck-Zwei-Temperatur – Feuchtegenerator

Der RHS G2 Feuchtegenerator ist ein System, das eine kontinuierliche, hochpräzise Feuchteerzeugung über weite Bereiche von Feuchte und Durchflussraten ermöglicht. Die Konstruktion des G2 ist ein RHS-Hybrid-Design mit zwei Drücken und zwei Temperaturen, das auf dem thermodynamischen Primärverfahren beruht, welches auch in vielen Metrologie-Instituten Anwendung findet.

Anwendungbeispiele

- Kalibriersysteme für Massenproduktionen
- Abgleich / Justierung von Feuchtemessgeräten
- Feuchteregelung in der Halbleiterfertigung und bei Lithografieprozessen
- Erweiterung bestehender Temperaturkammern um Feuchteregelung

Präzise Feuchtegenerierung

Der G2-Feuchtegenerator nutz das thermodynamische Primärverfahren der Feuchtegenerierung mit zwei Drücken und zwei Temperaturen, welches auch in vielen Metrologie-Instituten Anwendung findet. Er liefert einen befeuchteten Gasstrom, der präzise auf eine Vielzahl vom Benutzer wählbarer Feuchteparameter wie relative Feuchte, Taupunkt, Frostpunkt, ppm oder Dampfdruck geregelt wird. Durch die genaue Messung der Temperatur und des Drucks am Messort, passt sich der G2 automatisch an Änderungen der dynamischen Bedingungen an, wie z. B. Temperaturänderungen oder Schwankungen des Umgebungsdrucks.


Hohe Durchflussraten

Mit einer Durchflussrate von bis zu 30 nl/min, bzw. 100 nl/min generiert der G2 schnell einen stabilen und homogenen Feuchtluftstrom für ein externes Volumen oder eine Prüfkammer, basierend auf den festgelegten relative Feuchte- oder Taupunkt-Einstellungen.


Mehrere Externe Temperatureingänge

Drei separate externe Temperaturanschlüsse ermöglichen die Berechnung der relative Feuchtewerte bei drei unabhängigen Temperaturen. Durch die Aufteilung des Feuchtestroms und Einspeisung in drei separate Kammern, wobei jede Kammer auf eine andere Temperatur geregelt wird, werden drei definierte relative Feuchtewerte erzeugt. Der G2 berechnet die resultierenden relative Feuchtewerte für jeder dieser drei Kammern auf Basis der drei externen Temperaturmessungen.
Alternativ können bis zu drei Temperaturfühler in einer Kammer installiert werden, um die Inhomogenität der Temperatur und ihre Auswirkungen auf die relative Feuchte zu messen.


2-Druck-2-Temperatur-Hybridverfahren

Beim G2 werden die Vorteile der Zwei-Druck- und Zwei-Temperatur-Primärverfahren kombiniert. Die Luftfeuchte wird durch die vollständige Sättigung des Gases bei bekannten Temperatur und Druck generiert und anschließend auf einen niedrigeren Druck (typischerweise Umgebungsdruck) reduziert und auf eine andere Temperatur erwärmt oder abgekühlt.
Die mit dieser Hybridmethode (Primärverfahren) erzeugte Luftfeuchte wird nur durch Messungen der Temperaturen und Drücke bestimmt und basiert nicht auf Messungen des Wasserdampfgehalts des Gases.
Mit der hybriden Feuchtegenerierung von RH Systems ist der G2 ein vollwertiges Feuchtereferenzgerät, das sich für hochgenaue Kalibrierungen, Produktkonditionierungen sowie  Prüf- oder Testanwendungen eignet.


Integrierte Einheit für Steuerung und Kommunikation

Alle Vorgänge des G2 werden von seinem integrierten Echtzeit-Steuerungssystem geregelt. Über eine robuste serielle Kommunikation werden die Sollwerte vorgegeben und Daten abgerufen. Es gibt drei vollwertige, aber völlig unabhängige serielle RS-232-Anschlüsse, die eine Vielzahl von Kommunikationsoptionen ermöglichen. So können beispielsweise bis zu drei PCs an drei Temperaturkammern und an einen einzigen G2 angeschlossen werden, der diese alle mit befeuchtetem Gas versorgt. Die drei PCs kommunizieren unabhängig voneinander mit dem G2, um ihre spezifischen Temperatur- und Feuchtedaten abzurufen.


Einfache Applikationsintegration

Der G2 wird in einem 19" Rack-Format für die Integration in handelsübliche Rack-Systeme geliefert. Ein 19"-Rack-Gehäuse ist als Option erhältlich. Alle elektrischen, Flüssigkeits- und pneumatischen Anschlüsse befinden sich auf der Rückseite des Geräts. Alle Flüssigkeits- und Pneumatikanschlüsse bestehen aus Swagelok-Verschraubungen nach Industriestandards.


Spezifikationen

Spezifikationen G2
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